Vakum kurutma ısıl işlem fırını, malzemelerin ısıl işlem sırasında neminin, özellikle vakum altında yapılan kurutma işlemi ile giderilmesi amacıyla kullanılmaktadır. Vakum ortamı, malzemenin düşük sıcaklıklarda daha hızlı ve homojen bir şekilde kurutulmasını sağlar. Bu işlem, genellikle yüksek değerli metaller, alaşımlar ve hassas bileşenlerin kurutulmasında kullanılır. Vakum kurutma fırınları, malzemenin ısıl işlem öncesinde veya sonrasında istenmeyen nemin uzaklaştırılmasında kullanılır ve aynı zamanda iç gerilimlerin ortadan kaldırılmasına yardımcı olur. Vakum ortamında yapılan kurutma, oksidasyon riskini en aza indirir ve malzemenin yüzey kalitesini korur.